电子束偏转器控制

发布时间：2024-11-04 品牌：NI 浏览量：1560

背景概述

电子束偏转器是电子扫描显微镜、电子束光刻机的关键部件。电子束偏转器通过加压线圈产生的电磁场是高能电子束按所需的角度产生偏转，从而实现电子束对目标部件的扫描。对偏转器施加电压的高速准确且稳定控制，对于产品至关重要。

电子束偏转器控制

挑战：

[高速]扫描速率高达每秒 100M 像素
[准确性]每像素只有纳米大小，对偏转器的精度要求高
[稳定性]需要每次偏转稳定，隔离度较高，以保持成像清晰

解决方案

	名称	型号	主要参数
1	[硬件]FPGA控制器	NI 7391	Xilinx Kintex-7325T FPGA 2GB板载DDR3 DRAM 双核ARM Cortex-A9处理器 NI Linux Real-Time
2	[硬件]模拟收发适配器	NI 5783	4通道200MS/s 16bit AO 4通道100MS/s 16bit AI
3	[软件]FPGA开发	LabVIEW FPGA	图形化的FPGA编程

NI 实时系统

NI 的实时系统硬件使用具有实时功能的 I/O 模块提供工业级别的监控解决方案，能满足实时处理需求、工业监控应用和长期现场测试的要求。采用 NI 系统能保证电子束偏转器的实时运行。

电子束偏转器控制 NI 实时系统

NI FPGA 控制器

NI FPGA 控制器具有可编程的 FPGA 和嵌入式处理器，其适用于现场部署，为需要高级 VO 功能以及嵌入式信号处理的应用程序提供了可靠的长时间运行保障。

LabVIEW

LabVIEW 是专为测试、测量和控制应用而设计的图形化编程语言，内置数千个可用分析的函数，使用可配置的交互式显示元素以及，提供自动化测试的数据采集设备和仪器的驱动程序，可与其他语言和行业标准协议实现连接。

LabVIEW FPGA 模块提供了高度集成的图形化开发环境、IP 库、高保真模拟器和调试功能，使您能够更高效、更有效地设计复杂系统。您可以创建嵌入式 FPGA VI 来直接访问 I/O，并利用用户定义的 LabVIEW 逻辑，对定制的硬件进行编程，以满足数字协议通信、硬件在环仿真和快速控制原型等应用的需求，还可以集成现有的 HDL 代码和第三方 IP。