森美协尔 E系列 手动探针台
型 号：E系列
名 称：手动探针台
品 牌：森美协尔(SEMISHARE)
分 类：半导体设备 > 半导体材料测试 > 探针台
产品属性：主机
简 述：
E系列是一款功能进阶级探针台，能实现1μm以上的电极Pad测试，可通过较低的成本升级更多的测试功能。
申请服务
E系列是一款功能进阶级探针台，能实现1μm以上的电极Pad测试，可通过较低的成本升级更多的测试功能。
产品亮点
- 卡盘可升降调节，便于样品快速分离探针
- 标配金相显微镜，达到1μm以上的Pad测试
- 可搭载激光器进行FA失效分析/激光切割
- 显微镜气动式快速升降
- 便于更换显微镜和探针卡夹具
- POMater自适应隔震底座
- 采用德国进口隔震材料，提高测试稳定性
产品参数
| 型号 | E4 | E6 | E8 | E12 | |
| 外形（长*宽*高/mm） | 680*670*760mm | 680*670*760mm | 750*670*800mm | 1030*800*850mm | |
| 重量（KG） | 约90kg | 约95kg | 约110kg | 约210kg | |
| 电力需求 | 220VC,50~60Hz | ||||
| 卡盘 常温标准 |
卡盘尺寸 | 4" | 6" | 8" | 12" |
| 样品固定方式 | 环形及多孔真空吸附（可定制） | ||||
| 背电极测试功能 | 有，样品台电学独立悬空 | ||||
| 卡盘材质 | 316#不锈钢（可选黄铜镀镍or镀金） | ||||
| 卡盘 移动平台 |
Theta行程 | 360°旋转（粗调）；可旋转微调，微调精度0.002° | |||
| 卡盘升降 | 卡盘台可以上下快速升降5mm，微调升降行程6mm，精度1μm | ||||
| X-Y行程 | 100*100mm | 150*150mm | 200*200mm | 300*300mm | |
| 移动精度 | 10μm | ||||
| 卡盘快速拉出 | N/A | ||||
| 控制方式 | 小型旋钮驱动 | ||||
| 针座平台 | 外形尺寸 | 长550mm*宽405mm | 长720mm*宽405mm | 长980mm*宽480mm | |
| 卡盘到平台距离 | 8mm（卡盘上表面与针座平台下表面） | ||||
| 针座数量 | 最多可放6个针座 | 最多可放8个针座 | 最多可放10个针座 | ||
| 针座平台升降 | N/A | ||||
| 针座定位方式 | 磁力吸附或真空吸附 | ||||
| 光学特性 | 镜头规格 | 标配PSM-1000金相显微镜/可选（GX-6金相，体视，视频）显微镜 | |||
| 放大倍数 | 20-2000X | ||||
| CCD像素 | 3种CCD可选:200W（数字）/500W（数字）/650W（数字） | ||||
| 运动控制 | Z 轴移动行程 50.8 mm，同轴旋钮调节，细调精度优于1μm | ||||
| 显微镜行程 | 显微镜2英寸XY平移台范围内移动 | ||||
| 显微镜移动精度 | 1μm | ||||
| 点针规格 | X-Y-Z行程 | 12mm-12mm-12mm | |||
| 机械精度 | 10μm/2μm/0.7μm | ||||
| 漏电精度 | 10pA/100fA （配置屏蔽箱时） | ||||
| 接口形式 | 香蕉头/鳄鱼夹/同轴/三轴接口 | ||||
（*规格和设计如有更改，恕不另行通知。）
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