Hitachi FT9500系列/FT9500X系列 高性能X射线荧光镀层厚度测量仪
型 号：FT9500系列/FT9500X系列
名 称：高性能X射线荧光镀层厚度测量仪
品 牌：日立高新(Hitachi)
分 类：材料与结构分析 > X射线系列
产品属性：主机
产品状态：停产
简 述：
搭载了新型X射线聚光系统（毛细管），可发射实际照射直径为30um的高亮度X射线。可对引脚架、连接器、灵活基板、微型薄膜进行检测。
申请服务
X射线发生系统是X射线聚光系统(聚光导管)与X射线管相结合，从而在FT9500上产生光斑直径为Φ0.1mm以下高强度的X射线束。
在FT9500X中，我们开发了新型X射线聚光导管(单毛细管)，实现了FT较小的实际照射约为Φ30μm的高强度X光束照射。
为此，可以对以往由于X射线照射强度不足而导致无法得到理想精度的导线架、接插件、柔性线路板等微小零件及极薄镀层进行测量。
高性能X射线荧光镀层厚度测量仪 FT9500系列/FT9500X系列 特长
- X射线发生系统采用了聚光导管
因为采用了X射线聚光导管方式，所以可以得到以往10倍以上的X射线强度，从而可以提高微小样品的膜厚测量及有害物质测量的精度。 - 不需液氮的半导体检测器
在进行薄膜测量时，高分辨率的检测器是必不可缺的。FT9500的检测器不但可以达到高分辨率而且可以实现高计数率。同时，由于使用了电子冷却方式，所以无需液氮。 - Φ30μm高强度X光束照射
FT9500X作为聚光导管方式的镀层测量仪，可进行最高达Φ30μm高强度X光束照射。另外，与FT9500相比，仅相当过去约10%的照射面积即可进行同等精度的测量。 - 多镀层的厚度测量
FT9500可以同时对纳米等级的电子材料上多镀层的各层厚度进行测量，最多五层镀层及组成。
高性能X射线荧光镀层厚度测量仪 FT9500系列/FT9500X系列 规格
| ? | FT9500系列 | FT9500X系列 |
| 测 量 元 素 | 原子序数13 (Al)～83 (Bi) | |
| X 射 线 管 | 管电压：50kV 管电流：1mA | |
| 检 测 器 | 半导体检测器(无液化氮) | |
| X 射 线 聚 光 | 聚光导管方式 | |
| X射线照射尺寸 | Φ0.1mm | Φ30μm |
| 样 品 观 察 | CCD摄像头(带变焦功能) | |
| 对 焦 | 激光对焦 | |
| 一次滤波器(电动切换) | 选购项 | 有 |
| X-ray Station | 电脑 (OS: Windows) 19英寸液晶显示屏 |
|
| 打 印 机 | 喷墨打印机(选购项) | |
| 镀层厚度测量软件 | 薄膜FP法(最大5层、各层10种元素) 标准曲线法(单层、双层、合金镀层成分) | |
| 定量分析软件 | 块体FP法、块体标准曲线法 | 无 |
| 测 量 功 能 | 自动测量、中心搜索、图像处理 | |
| 修 正 功 能 | 底材修正、已知样品修正 | |
| 定 性 功 能 | KLM标记功能、比较显示 | |
| 统计处理功能 | 配备MS-EXCEL? | |
| 报告生成功能 | 配备MS-WORD? | |
| 安 全 功 能 | 样品门联锁 防冲撞功能 |
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| 使 用 电 源 | 100V/15A 带地线的3孔插座 | |
选购项
- 电镀液分析（块体标准曲线）
- 能谱匹配软件（材料辨别）
- 扫描（强度面分析多点表示）软件
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